待解决
本品无色，不燃烧，无电抗性，仅有窒息性的液化气体。液化瓶装气体，压力为其蒸气压（202.78kgf/cm2@21.1摄氏度）。以其良好的绝缘性能和灭弧性能，被广泛的应用于电器工业，在半导体中的蚀刻。
纯度有 4n（99.99%）5n（99.999%）
六氟化硫在常态下是一种无色、无臭、不燃、无腐蚀性的气态物质，化学性质稳定性强，具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能。其耐电强度为同一压力下氮气的2.5倍，击穿电压是空气的2.5倍，在0.25MPa下与油的击穿电压相等，中等压力、同样条件下电晕放电的起始电压是空气的2倍，是一种优于空气和油的新一代超高压绝缘介质材料，被广泛用于电气设备的断路器、组合器、变压器、大容量电缆、避雷器、示踪分析和有色冶炼等方面。在半导体工业中，用作等离子刻蚀剂。在光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，在低损耗单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的渗加气体。在环境检测及别的部门用作标准气或配制标准混合气。利用其化学稳定性好和对设备不腐蚀等特点，在冷冻工业上可用作冷冻剂（操作温度－450℃之间）。由于对α粒子有高度的停止能力，还用于放射化学。此外还作为一种反吸附剂从矿井煤尘中置换氧。